吉倉(cāng)低溫石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)
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吉倉(cāng)納米科技有限公司根據(jù)多年生長(zhǎng)石墨烯膜的經(jīng)驗(yàn)研發(fā)出的低溫石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)500~800℃低溫生長(zhǎng)。吉倉(cāng)納米可以提供石墨烯膜的生長(zhǎng)培訓(xùn)。
吉倉(cāng)低溫石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)配有Plasma實(shí)現(xiàn)等離子增強(qiáng)，滑軌式設(shè)計(jì)在操作時(shí)可將實(shí)驗(yàn)需要的恒定高溫直接推到樣品處，使樣品能得到一個(gè)快速的升溫速度，同樣也可將高溫的管式爐直接推離樣品處，使樣品直接暴露在室溫環(huán)境下，得到快速的降溫速率。并可選配氣氛微調(diào)裝置，可準(zhǔn)確的控制反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力，帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常簡(jiǎn)單實(shí)用，工藝重復(fù)性好，對(duì)于石墨烯生長(zhǎng)工藝非常合適，也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實(shí)驗(yàn)。
開(kāi)啟式真空管式爐 JC-1200C-SL-PECVD
爐管尺寸：外徑φ100（可選）
加熱元件:電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）
加熱區(qū)長(zhǎng)度：440mm
恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 200mm（±1℃）
工作溫度：1100℃
最高溫度：1200℃
控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能
控溫精度:±1℃
升溫速度：20度/分鐘
爐門結(jié)構(gòu)：開(kāi)啟式
工作電源：AC220V /50HZ
額定功率:3KW
射頻電源
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信號(hào)頻率 |
13.56 MHz±0.005% |
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功率輸出范圍 |
5W-500W |
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最大反射功率 |
200W |
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射頻輸出接口 |
50 Ω, N-type, female |
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功率穩(wěn)定度 |
±0.1% |
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諧波分量 |
≤-50dbc |
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供電電壓 |
單相交流（187V-253V） 頻率50/60HZ |
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整機(jī)效率 |
>=70% |
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功率因素 |
>=90% |
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冷卻方式 |
強(qiáng)制風(fēng)冷 |
壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/
供氣系統(tǒng)（品牌： JCNO）
GMF-3Z
連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。
標(biāo)準(zhǔn)量程（N
2)：50sccm（CH4）、200sccm（H2）、500sccm（Ar）；
準(zhǔn)確度：±1.5%
線性：±0.5～1.5%
重復(fù)精度：±0.2%
響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec
工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa
最大壓力：3MPa
接口：Φ6,1/4''mm
顯示：液晶觸摸屏控制，無(wú)紙記錄。
工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體
內(nèi)外雙拋衛(wèi)生級(jí)不銹鋼管：316L，Φ6mm
低真空機(jī)組（品牌： JCNO）VAU-02
技術(shù)參數(shù)：
空氣相對(duì)濕度≤85%，
工作電電壓：220V±10% 50~60HZ
功率：1千瓦
抽氣速率：4L\s
極限真空：4X10-2Pa
實(shí)驗(yàn)真空度：1.0X10-1Pa
容油量：1.1L
進(jìn)氣口口徑：KF25
排氣口口徑：KF25
轉(zhuǎn)速：1450rpm
噪音：50dB
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