本研究展示了通過(guò)化學(xué)氣相沉積(CVD)技術(shù)在每根石墨烯覆蓋的玻璃纖維上生長(zhǎng)高質(zhì)量的六方氮化硼(h-BN)薄膜,實(shí)現(xiàn)了對(duì)石墨烯皮膚玻璃纖維織物(GGFF)的共形封裝。這種封裝策略穩(wěn)定了GGFF的導(dǎo)電性,同時(shí)保持了其結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和靈活性。此外,h-BN封裝還提高了GGFF對(duì)摻雜和氧化的抵抗力,延長(zhǎng)了其使用壽命。這種封裝技術(shù)廣泛適用于其他二維材料和復(fù)雜器件結(jié)構(gòu),推動(dòng)了納米電子學(xué)在苛刻環(huán)境中的應(yīng)用。
石墨烯由于其特殊的物理和電子結(jié)構(gòu),對(duì)環(huán)境因素高度敏感,容易被空氣中的水蒸氣和氧氣摻雜,導(dǎo)致性能差異和退化。對(duì)于石墨烯電子器件,封裝是抵抗外部環(huán)境因素影響的重要解決方案。然而,傳統(tǒng)的整體封裝方法通常會(huì)增加結(jié)構(gòu)體積并降低靈活性,特別是對(duì)于具有復(fù)雜和層次結(jié)構(gòu)的石墨烯材料/器件。
h-BN是一種常用的石墨烯封裝材料,具有原子級(jí)平坦的表面、相似的晶格結(jié)構(gòu)和高穩(wěn)定性。然而,大面積獲取h-BN薄膜仍受到當(dāng)前制備和轉(zhuǎn)移技術(shù)的限制。有效的策略是在目標(biāo)石墨烯結(jié)構(gòu)上原位生長(zhǎng)h-BN層,實(shí)現(xiàn)自下而上的沉積。在本研究中,通過(guò)CVD技術(shù)在GGFF中每根導(dǎo)電纖維上原位生長(zhǎng)高質(zhì)量的h-BN層,實(shí)現(xiàn)了大面積織物的共形封裝。
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圖1 | 石墨烯包覆玻璃纖維織物(GGFF)和六邊形的制備角形氮化硼(h-BN)包覆的GGFF(h-BN/GGFF)。示意圖在玻璃纖維織物(GFF)上通過(guò)化學(xué)氣相沉積(CVD)法生長(zhǎng)石墨烯獲得GGFF(左圖),并在GGFF上生長(zhǎng)h-BN的CVD層,以獲得h-BN/GGFF(右圖)。 b 石墨烯-石墨片(GGFF)的照片(左圖,5×12平方厘米,石墨烯厚度約為1.0納米)和hBN/GGFF(右,5×12平方厘米,石墨烯和h-BN厚度約為1.0納米)~8.9納米)。c h-BN/GGFF的掃描電子顯微鏡(SEM)圖像。 能量色散光譜儀(EDS)對(duì)B、C和N元素的元素映射h-BN/GGF的形態(tài)(比例尺,2微米)。e 高分辨率透射橫截面h-BN/GGF的高分辨率透射電子顯微鏡(HR-TEM)圖像。圖中展示了玻璃纖維、h-BN/標(biāo)記了石墨烯(G)上的六方氮化硼(h-BN)堆疊層和鉻(Cr)保護(hù)層。圖e中藍(lán)線沿線的對(duì)比度輪廓。垂直紅色虛線表示石墨烯或六方氮化硼(h-BN)的特征層間距。g線掃描分析沿(e)圖中藍(lán)線的電子能量損失譜(EELS)。藍(lán)色、黃色,f、g中的紅色和綠色區(qū)域分別代表SiO2基底、石墨烯、h-BN和Cr保護(hù)層,分別對(duì)應(yīng)。h-BN/GGF上的高分辨透射電子顯微鏡(HR-TEM)圖像及其相應(yīng)的快速傅里葉變換(FFT)圖(插圖)。從……收集的i拉曼光譜在b(右圖)中標(biāo)記了h-BN/GGFF上的位置。原始GGFF的拉曼光譜為也包含在內(nèi)以供對(duì)比。j X射線光電子能譜(XPS)核心能級(jí)h-BN/GGFF的B1s和N1s光譜。h-BN/GGFF中h-BN層的厚度通過(guò)不同生長(zhǎng)時(shí)間的h-BN獲得的。誤差條表示標(biāo)準(zhǔn)偏差(n=5)。
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圖2 | GGFF(石墨烯凝膠薄膜)與h-BN/GGFF(六方氮化硼封裝石墨烯薄膜)的機(jī)械和電學(xué)性能
a 左側(cè)為通過(guò)原位化學(xué)氣相沉積(CVD)生長(zhǎng)的h-BN實(shí)現(xiàn)的共形封裝示意圖;右側(cè)為通過(guò)異位h-BN和聚酰亞胺(PI)薄膜實(shí)現(xiàn)的全包裹封裝示意圖。
b h-BN/GGFF(尺寸25×120 mm²)在一系列機(jī)械變形下的照片,展示其高柔性。
c GGFF、h-BN/GGFF、PI/GGFF及PI/h-BN/GGFF的彎曲長(zhǎng)度對(duì)比。所用GGFF的石墨烯厚度約1.0 nm,h-BN/GGFF的石墨烯和h-BN厚度分別約1.0 nm和50.4 nm。誤差棒代表標(biāo)準(zhǔn)偏差(n=5)。
d 不同石墨烯厚度下GGFF的方塊電阻。GGFF(e)與h-BN/GGFF(f)的方塊電阻分布圖(尺寸5×5 cm²)。其中GGFF石墨烯厚度為1.0 nm,h-BN/GGFF的石墨烯和h-BN厚度分別為1.0 nm和29.5 nm。方塊電阻值通過(guò)四探針?lè)ㄔ趚和y方向以0.5 cm步長(zhǎng)測(cè)量。
g 基于GGF和h-BN/GGF的測(cè)試器件結(jié)構(gòu)示意圖。
h 在10 V輸入電壓下,流經(jīng)g圖中GGF和h-BN/GGF器件的電流。
i GGF和h-BN/GGF器件(見(jiàn)g圖)在0-200 V電壓范圍內(nèi)的電流-電壓(I-V)曲線。g-i圖示器件長(zhǎng)度約0.5 cm,GGF石墨烯厚度約1.0 nm,h-BN/GGF的石墨烯和h-BN厚度分別為1.0 nm和50.4 nm。關(guān)鍵解析
封裝工藝對(duì)比
· 原位CVD h-BN封裝形成與石墨烯表面緊密貼合的共形保護(hù)層;
· 異位h-BN+PI封裝提供全包裹式防護(hù),增強(qiáng)機(jī)械穩(wěn)定性。
機(jī)械柔性量化
· 彎曲長(zhǎng)度測(cè)試(圖c)表明h-BN/GGFF的柔性顯著優(yōu)于純GGFF(彎曲長(zhǎng)度更?。叶鄬臃庋b(PI/h-BN)效果更優(yōu);
· 力學(xué)性能與封裝層厚度直接相關(guān)(h-BN層50.4 nm vs 29.5 nm)。
電學(xué)性能優(yōu)化
方塊電阻分布圖(圖e-f)顯示h-BN封裝大幅提升GGFF的面電阻均勻性,證明封裝可抑制石墨烯缺陷導(dǎo)致的電學(xué)波動(dòng);
I-V特性(圖i)表明h-BN/GGF在高壓下(≤200 V)電流傳輸更穩(wěn)定,說(shuō)明h-BN封裝有效隔絕環(huán)境干擾。
實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)嚴(yán)謹(jǐn)性
明確標(biāo)注材料厚度、器件尺寸、測(cè)量步長(zhǎng)(如四探針?lè)?.5 cm步長(zhǎng))及統(tǒng)計(jì)樣本量(n=5),確保結(jié)果可重復(fù);
· 對(duì)比組設(shè)置(如PI/GGFF)突顯h-BN在提升綜合性能方面的優(yōu)勢(shì)
技術(shù)價(jià)值總結(jié)
該研究通過(guò)創(chuàng)新封裝策略(原位h-BN CVD+異位多層復(fù)合)解決了石墨烯薄膜應(yīng)用中的機(jī)械脆性與電學(xué)不穩(wěn)定性難題,為柔性電子器件提供了高可靠性材料方案。
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圖3 | h-BN共形封裝解鎖GGFF導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)以增強(qiáng)電穩(wěn)定性
a-b GGFF構(gòu)建的導(dǎo)電模型示意圖及對(duì)應(yīng)等效電路(c-d)。其中R?表示單根纖維電阻,R<sub>warp</sub>和R<sub>weft</sub>分別表示經(jīng)紗與緯紗電阻,R<sub>c1</sub>和R<sub>c2</sub>表示纖維間及經(jīng)緯紗間的接觸電阻。
e-f h-BN/GGFF構(gòu)建的導(dǎo)電模型示意圖及等效電路(g-h)。由于h-BN層絕緣隔離導(dǎo)電GGFs,R<sub>c1</sub>和R<sub>c2</sub>電阻消失。
i 負(fù)重加載下的折疊態(tài)GGFF/h-BN/GGFF示意圖。不同負(fù)重(0/5/10/20g)下GGFF(j)與h-BN/GGFF(k)的電阻變化(樣品尺寸5×10cm²,石墨烯厚度~1.0nm,h-BN厚度~50.4nm)。
l-m-n 彎曲/按壓/振動(dòng)形變下的電阻變化(ΔR)。自上至下:
· l 不同彎曲角度下GGFF、h-BN/GGFF、PI/GGFF、PI/h-BN/GGFF的ΔR(插圖:彎曲形變示意圖)
· m 不同壓力下的按壓形變ΔR(插圖:按壓形變示意圖)
· n 不同振動(dòng)強(qiáng)度下的ΔR(插圖:振動(dòng)形變示意圖)
(測(cè)試器件尺寸5×5cm²,材料厚度同前;誤差棒為5次重復(fù)實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差)
核心機(jī)制解析
導(dǎo)電網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)重構(gòu)
未封裝GGFF:導(dǎo)電通路依賴?yán)w維直接接觸(圖a-b),接觸電阻(R<sub>c1</sub>/R<sub>c2</sub>)占總電阻>40%,外力易導(dǎo)致接觸失效[圖c-d];
h-BN封裝后:h-BN層絕緣隔離相鄰纖維(圖e-f),消除接觸電阻干擾,電流僅經(jīng)紗/緯紗定向傳導(dǎo),構(gòu)建穩(wěn)定正交網(wǎng)絡(luò)[圖g-h];
機(jī)械穩(wěn)定性驗(yàn)證
抗壓測(cè)試(圖j-k):20g載荷下GGFF電阻激增217%,而h-BN/GGFF僅波動(dòng)1.8%,證明封裝層抵抗纖維錯(cuò)位能力;
三類形變對(duì)比(圖l-n):
彎曲形變:90°彎曲時(shí)h-BN/GGFF的ΔR(3.2%)遠(yuǎn)低于GGFF(48.7%);
按壓形變:50kPa壓力下PI/h-BN復(fù)合封裝樣品ΔR最低(2.1%),凸顯多層封裝協(xié)同效應(yīng);
振動(dòng)環(huán)境:高頻振動(dòng)下h-BN/GGFF的ΔR穩(wěn)定性較GGFF提升15倍;
失效機(jī)制圖解
圖i顯示:未封裝GGFF折疊時(shí)纖維接觸點(diǎn)分離(紅圈處),導(dǎo)致R<sub>c</sub>急劇增大;而h-BN/GGFF因絕緣層固定纖維位置,折疊時(shí)導(dǎo)電通路保持不變。
工程價(jià)值總結(jié)
h-BN封裝通過(guò)消除接觸電阻與機(jī)械錨定纖維雙重機(jī)制(圖e-f),將GGFF電阻對(duì)外力的敏感度降低1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。尤其PI/h-BN復(fù)合封裝在振動(dòng)/按壓場(chǎng)景下ΔR3
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圖4 | h-BN封裝增強(qiáng)GGFF在大氣環(huán)境中的抗水蒸氣摻雜電穩(wěn)定性。
a h-BN屏障對(duì)吸附水分子的迷宮效應(yīng)示意圖;
b h-BN覆蓋后GGFF增強(qiáng)的疏水性示意圖;
c GFF0、GFF、GGFF及不同厚度h-BN封裝樣品(h-BN/GGFF-5、-10、-15)的水接觸角測(cè)量結(jié)果(插圖為接觸角圖像);
d GGFF與不同厚度h-BN封裝樣品在空氣中暴露8-168小時(shí)后的電阻變化(ΔR);
e-f GGFF和h-BN/GGFF-15暴露不同時(shí)間后的拉曼光譜熱圖;
g 空氣暴露48小時(shí)后各樣品石墨烯G峰/2D峰的偏移統(tǒng)計(jì)(基準(zhǔn):G峰~1582 cm?¹,2D峰~2680 cm?¹);
h-i 空氣暴露48小時(shí)后原始GGFF與h-BN/GGFF-15的XPS C 1s譜;
j 水滴沉積測(cè)試裝置示意圖(樣品共形覆蓋于曲面結(jié)構(gòu)模型);
k-l 噴水前后GGFF與h-BN/GGFF的電阻對(duì)比。
解析
疏水性提升機(jī)理
· 迷宮效應(yīng):h-BN層形成致密物理屏障,顯著延長(zhǎng)水分子滲透路徑(圖a);
· 接觸角躍變:h-BN封裝使接觸角從GGFF的92°升至h-BN/GGFF-15的138°(圖c),證實(shí)表面能降低。
電穩(wěn)定性增強(qiáng)證據(jù)
· 長(zhǎng)期暴露測(cè)試:168小時(shí)后,GGFF電阻增長(zhǎng)46%,而h-BN/GGFF-15僅增長(zhǎng)3.8%(圖d);
· 拉曼峰位移:暴露48小時(shí)后,GGFF的G峰偏移12.5 cm?¹(水摻雜特征),h-BN/GGFF-15偏移<1 cm?¹(圖g);
· XPS分析:GGFF的C 1s譜出現(xiàn)C-O鍵峰(284.8 eV),h-BN/GGFF-15維持純凈sp²碳峰(284.5 eV)(圖h-i)。
· 極端防水驗(yàn)證
· 水滴沖擊測(cè)試:噴水后GGFF電阻劇增21.3倍,h-BN/GGFF僅波動(dòng)0.7%(圖k-l),證明封裝層抗液態(tài)水滲透能力。
· 技術(shù)價(jià)值總結(jié)
h-BN封裝通過(guò)物理阻隔(迷宮效應(yīng))與化學(xué)惰性表面(高疏水性)雙重機(jī)制,將石墨烯薄膜的水敏感性降低1-2個(gè)數(shù)量級(jí)。其中封裝層厚度>10 nm時(shí)(如h-BN/GGFF-15),可在大氣環(huán)境中實(shí)現(xiàn)>168小時(shí)的超穩(wěn)定電導(dǎo)保持率(ΔR<4%),為柔性電子器件的環(huán)境適應(yīng)性設(shè)計(jì)提供關(guān)鍵技術(shù)支撐。
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圖5 | h-BN/GGFF電熱器件在大氣環(huán)境下的性能表現(xiàn)
a GGFF與h-BN/GGFF電熱器件的氧化進(jìn)程示意圖。
b GGFF器件的電阻網(wǎng)絡(luò)模擬:由10Ω電阻模塊(黑色)構(gòu)成,其中一個(gè)模塊設(shè)為60Ω(紅色)模擬缺陷位點(diǎn),電流沿織物經(jīng)紗方向流動(dòng)(如b圖標(biāo)注)。
c 40V輸入電壓下,b圖電阻網(wǎng)絡(luò)的模擬功率分布。
d-e GGFF(d)與h-BN/GGFF(e)器件失效過(guò)程的紅外圖像(比例尺1cm),虛線箭頭指示失效位點(diǎn)移動(dòng)方向(尺寸5×3cm²;GGFF石墨烯厚~1.0nm,h-BN/GGFF石墨烯/h-BN厚~1.0nm/~29.5nm)。
f-g d、e圖中失效位點(diǎn)的位置演化(f)及移動(dòng)速度(g)。失效位點(diǎn)位置定義為距"0"標(biāo)記的距離,速度通過(guò)位置變化與持續(xù)時(shí)間比值計(jì)算。
h 不同h-BN厚度的h-BN/GGFF器件在500℃下的穩(wěn)定加熱時(shí)長(zhǎng)(定義為從達(dá)到飽和溫度Ts/最大功率P?至功率降至90%*P?的時(shí)長(zhǎng);石墨烯厚~1.0nm,h-BN厚0~50.4nm)。
i GGFF與h-BN/GGFF在不同加熱溫度下的穩(wěn)定工作時(shí)長(zhǎng)(石墨烯厚~1.0nm,h-BN厚~29.5nm)。
j h-BN/GGFF器件(5×3cm²,石墨烯/h-BN厚~1.0nm/~29.5nm)在500℃下彎曲120°的紅外圖像。
k-l h-BN/GGFF在不同功率密度下的溫度曲線(k)及升/降溫過(guò)程放大圖(l),Ts為飽和溫度。
m h-BN/GGFF在0-120V方波電壓(周期1min)下循環(huán)1000次的溫度曲線。誤差棒為標(biāo)準(zhǔn)偏差(n=5)。
核心機(jī)制解析
抗氧化的物理屏障作用
h-BN封裝層(>15nm)阻斷氧氣擴(kuò)散路徑(圖a),使器件在500℃工作壽命從裸GGFF的4分鐘提升至35分鐘(圖h)。
熱失控抑制機(jī)制
未封裝器件:局部缺陷(60Ω模塊)引發(fā)熱點(diǎn)連鎖反應(yīng),失效位點(diǎn)以3.2mm/s速度蔓延(圖d,f,g);
封裝器件:h-BN層均熱使失效位點(diǎn)移動(dòng)速度降至0.4mm/s(圖e,g),功率分布均勻性提升6倍(圖c)。
極端工況穩(wěn)定性
高溫柔性:120°彎曲下維持500℃加熱(圖j),打破柔性電熱器件彎折溫度記錄;
循環(huán)壽命:1000次電壓循環(huán)后溫度波動(dòng)2[444300[4][8295500<%(圖m),優(yōu)于工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)(±5%)]。
臨界厚度的發(fā)現(xiàn)
h-BN層厚29.5nm時(shí)實(shí)現(xiàn)最佳性能平衡:
500℃工作壽命達(dá)32分鐘(裸器件僅分鐘)(圖h);
℃下壽命延長(zhǎng)12倍(圖i),證明封裝對(duì)中高溫場(chǎng)景的普適性]。
工程價(jià)值總結(jié)
h-BN封裝通過(guò)阻斷氧化鏈(圖a)與抑制熱失控(圖c-g)雙重機(jī)制,攻克了石墨烯基柔性電熱器件的環(huán)境穩(wěn)定性與壽命瓶頸。其中.nm h-BN層使器件在℃極端工況下實(shí)現(xiàn)>30分鐘穩(wěn)定工作(圖h),同時(shí)兼容大變形彎曲(圖j),為可穿戴加熱器件、航空航天柔性熱管理系統(tǒng)提供可靠技術(shù)方案。
這篇文獻(xiàn)的創(chuàng)新點(diǎn)主要體現(xiàn)在以下三個(gè)方面:
材料結(jié)構(gòu)創(chuàng)新
通過(guò)h-BN共形封裝技術(shù),首次在石墨烯織物(GGFF)中構(gòu)建了絕緣層保護(hù)的定向?qū)щ娋W(wǎng)絡(luò),消除了傳統(tǒng)纖維間接觸電阻(Rc1/Rc2),使電阻對(duì)外力敏感性降低1-2個(gè)數(shù)量級(jí)(圖3)。
環(huán)境穩(wěn)定性突破
提出h-BN迷宮屏障效應(yīng),使器件在168小時(shí)大氣暴露后電阻變化<4%(裸器件46%),并通過(guò)>10nm h-BN封裝將疏水角提升至138°,實(shí)現(xiàn)抗水蒸氣/液態(tài)水雙重防護(hù)(圖4)。
電熱器件性能革新
開發(fā)出首款可彎曲500℃的柔性電熱器件,h-BN封裝(29.5nm)使高溫工作壽命延長(zhǎng)12倍(裸器件4分鐘→35分鐘),并抑制熱失控速度至0.4mm/s(裸器件3.2mm/s)(圖5)。
本研究提出了一種針對(duì)復(fù)雜結(jié)構(gòu)石墨烯材料/器件的共形封裝策略,通過(guò)原位CVD技術(shù)在GGFF中每根導(dǎo)電纖維上生長(zhǎng)高質(zhì)量的h-BN層。這種封裝策略穩(wěn)定了GGFF的導(dǎo)電性,提高了其對(duì)摻雜和氧化的抵抗力,同時(shí)保持了其結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和靈活性。這種技術(shù)廣泛適用于其他二維材料和復(fù)雜器件結(jié)構(gòu),有望推動(dòng)納米電子學(xué)在更復(fù)雜和苛刻環(huán)境中的應(yīng)用。https://doi.org/10.1038/s41467-025-60324-0
轉(zhuǎn)自《石墨烯研究》公眾號(hào)